• <meter id="xbub6"><bdo id="xbub6"><listing id="xbub6"></listing></bdo></meter>
    1. <big id="xbub6"></big>

      <menu id="xbub6"><font id="xbub6"></font></menu>
                1. <big id="xbub6"></big>

                    氙燈老化試驗箱 聯系我們   |   官方微信 歡迎訪問東莞市品雅真空設備有限公司!
                    全國服務熱線:138-2695-4831
                    當前位置:網站首頁 » 英國愛德華(EDWARDS)真空泵 » 愛德華半導體干泵EPX180L系列維修銷售

                    愛德華半導體干泵EPX180L系列維修銷售

                    愛德華半導體干泵EPX180L系列維修銷售,愛德華半導體干泵EPX180L/LE/N系列維修,愛德華干式真空泵EPX180L/LE/N的差別是什么?愛德華半導體干泵EPX180L系列現貨供應,愛德華半導體干泵EPX180L系列維修配件哪里買,歡迎來電咨詢:13826954831? 楊生

                    新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX180 使用了獨特的專利保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5?Torr 的極限壓力。

                    模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
                    EPX系列主要特性和優勢
                    1.占地面積小且重量輕 – 作為可用的 最小工具上泵之一,EPX 顯著節省了 占地面積。鋁制構造使其重量輕巧,增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和 安裝成本,如果需要也可遠程使用。
                    2.受專利保護的獨特泵機構 – EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續運轉。
                    3.超清潔機構 – 傳統的高真空軸承使用油脂潤滑,這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂,并且不存在 任何其他的潛在污染源。
                    4.非??煽?– EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年維修一次,最大程度地延長了泵的 使用壽命。
                    5.運轉時的噪聲低至 56 dB(A),可在潔凈室內實現低噪聲。

                    EPX 系列支持清潔和輕 型半導體加工應用,如灰化/剝離和注入端點 站應用。
                    EPX 系列以極輕、極小的 封裝提供工具上泵送功能,可實現異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲專利的獨特單軸再生 Holweck? 分級機構, 能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。
                    EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能,既可集成到制程工具,又可以遠程 安裝。此外,通過集成的 MicroTIM 電子模塊還可以與制程工具 輕松建立通信連接。

                    EPX180L/EPX180LE技術參數:

                    峰值速度 170 m3h-1
                      105 ft3min-1
                      2835 lmin-1
                    極限真空  
                      <1 x 104?mbar
                      <7.5 x 10-5?Torr
                      <1 x 10-2?Pa
                    預熱時間(達到標稱性能) 30 分鐘
                    入口法蘭 ISO63
                    出口法蘭 NW25
                    噪音 <59 dB(A)
                    水接頭 3/8 in 快速
                    最小冷卻水流速 2 lm-1
                    冷卻水溫度 15 – 35°C
                    電源供給 200/208 V,50/60 Hz 三相
                    極限功率 1.4 kW
                    電機額定功率 3.0 kW
                    TIM C3
                    重量 43.5 kg

                     

                    EPX180L訂貨號:
                    EPX180L 干泵 400V,3/8 水接頭
                    A41941014
                    EPX180L 干泵 208V C3 TIM 9/16 水接頭
                    A41941132
                    EPX180L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
                    A41941212
                    EPX180L 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
                    A41941222
                    EPX180L 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
                    A41941312
                    EPX180L 干泵 400V E73 TIM 3/8 水接頭
                    A41941314
                    EPX180L 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
                    A41941412
                    EPX180L 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
                    A41941514
                    EPX180L 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
                    A41941712
                    EPX180L 干式泵 200V
                    A41941002
                    EPX180L 干式泵 200V,3/8 水接頭
                    A41941012
                    EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
                    A41941112
                    EPX180L 干式泵 400V 1/4 水接頭
                    A41941024
                    EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
                    A41941142
                    EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
                    A41941152
                    EPX180L 干式泵 400V SPI TIM 3/8 水接頭
                    A41941214

                    EPX180LE系列訂貨號:

                    EPX180LE 干泵 208V 無 TIM 3/8 水接頭
                    A4194301
                    EPX180LE 干泵 400V 無 TIM 3/8 水接頭
                    A41943014
                    EPX180LE 干泵 208V 無 TIM 1/4 水接頭
                    A41943022
                    EPX180LE 干泵 400V 無 TIM 1/4 水接頭
                    A41943024
                    EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
                    A41943112
                    EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
                    A41943212
                    EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
                    A41943222
                    EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
                    A41943224
                    EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
                    A41943412
                    EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接頭
                    A41943612
                    EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
                    A41943712
                    EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
                    A41943714
                    EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接頭
                    A41943722

                    EPX180“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊,從而可將應用范圍擴大為中等制程,在這類制程中預期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
                    訂貨號:
                    EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
                    A41942112
                    EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
                    A41942212
                    EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
                    A41942222
                    EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
                    A41942312
                    EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
                    A41942412
                    EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
                    A41942414
                    EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
                    A41942712
                    EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
                    A41942714
                    EPX180N 干式泵 400V,3/8 水接頭
                    A41942014

                    愛德華真空泵由于產品的多樣化,所以每一個型號都有著很大的系列,不同的系列應用在不同的行業有著非常明顯的效果,因此,在購買愛德華真空泵產品是需要謹慎選項,歡迎有任何愛德華真空泵需求的客戶來電咨詢。

                    恒溫恒濕試驗箱
                    東莞市品雅真空設備有限公司
                    備案號:粵ICP備17132888號
                    售前咨詢:0769-88900800 服務熱線:400-9999-502
                    地址:東莞市寮步鎮坑口興隆路4號
                     愛德華真空泵 萊寶真空泵 進口真空泵維修 真空泵配件 真空泵油 

                    久久无码人妻一区二区三区,欧美久久av免费无码久久木,国产成人精品免费视频大全五级,国产精品久久免费观看勾搭
                      
                    普旭真空泵 萊寶真空泵 愛德華真空泵 愛發科真空泵 在線聯系
                    普旭真空泵 萊寶真空泵 愛德華真空泵 愛發科真空泵 在線聯系QQ
                    普旭真空泵 萊寶真空泵 愛德華真空泵 愛發科真空泵 網站頂部
                    /*禁止*/