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                    愛德華半導體干泵EPX180N/NE維修

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                    愛德華半導體干泵EPX180N/NE系列產品是寄L/LE系列的防腐等級更高,運用的行業工藝更加全面立體,全方位的發揮了EPX系列的優勢。
                    新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX180 使用了獨特的專利保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5?Torr 的極限壓力。

                    模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

                    EPX NE 系列的泵具有一個最終用戶控制器 (EUC)。通過最終用戶控制器可以實現獨立使用的本地控制,并能夠連接到各種結構的網絡,以進行遠程控制和監視。

                    優勢技術:
                    EPX 泵系統在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作,增壓室內無潤滑或密封液。這樣可以確保泵送系統清潔,不會因為系統的排空而使油或液體回流到系統中。

                    泵裝有一個 EMC 供應過濾器和一個變換器驅動,該驅動可提供和控制泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標識 EPX 泵的狀態。馬達速度取決于泵入口處的壓力。當泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時,馬達會加速到某個速度,該速度受可以由變換器驅動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低,馬達速度會加快,直至該速度最終達到其預定的最大速度。如果入口處的壓力增大,則馬達速度會再次減慢。

                    泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此,EPX 泵適合在不允許使用風扇的潔凈室環境下使用。冷卻水供應和回水管通過水接頭(由客戶指定)連接到泵。冷卻水的提供必須與環境條件(濕度和溫度)相當,以便不會達到結露點。

                    EPX L 系列的泵不能進行手動操作;這些泵必須通過外部控制設備進行控制和監視,而控制設備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。

                    EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。

                    泵保護傳感器可在出現故障狀態時自動關閉泵。
                    應用:
                    EPX 系列涵蓋廣泛的應用,從水處理到中度工作負載的制程。

                    EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

                    EPX180N/NE系列應用:
                    負載鎖
                    傳輸腔
                    PVD 濺射
                    灰化/PR 剝離
                    電介質刻蝕
                    EPX 系列涵蓋廣泛的應用,從水處理到中度工作負載的制程。

                    性能參數:

                    峰值速度 170 m3h-1
                      105 ft3min-1
                      2835 lmin-1
                    極限真空  
                      <1 x 10-4?mbar
                      <7.5 x 10-5?Torr
                      <1 x 10-2?Pa
                    預熱時間(達到標稱性能) 30 分鐘
                    入口法蘭 ISO63
                    出口法蘭 NW25
                    噪音 <59 dB(A)
                    水接頭 3/8 in 快速
                    最小冷卻水流速 2 lmin-1
                    冷卻水溫度 15 – 35°C
                    氮氣供給接口 1/4 in (6.5 mm) 管
                    氮氣供給壓力 3 x 105?– 7 x 105?Pa
                    最低氮純度 99.95%
                    電源供給 200/208 V,50/60 Hz 三相
                    極限功率 1.4 kW
                    電機額定功率 3.0 kW
                    TIM C3
                    重量 43.5 kg

                    訂貨號:
                    EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
                    A41942112
                    EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
                    A41942212
                    EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
                    A41942222
                    EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
                    A41942312
                    EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
                    A41942412
                    EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
                    A41942414
                    EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
                    A41942712
                    EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
                    A41942714
                    EPX180N 干式泵 400V,3/8 水接頭
                    A41942014

                    EPX180NE訂貨號:
                    EPX180NE 干泵 400V 無 TIM 3/8 水接頭
                    A41944014
                    EPX180NE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
                    A41944212
                    EPX180NE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
                    A41944224
                    EPX180NE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
                    A41944412

                    EPX180NE 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
                    A41944414
                    EPX180NE 干泵 400V TEL TIM 1/4 水接頭
                    A41944424
                    EPX180NE 干泵 208V LAM TIM 3/8 水接頭
                    A41944512
                    EPX180NE 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
                    A41944514
                    EPX180NE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
                    A41944712
                    EPX180NE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
                    A41944714
                    EPX180NE 干泵 400V MCM TIM 1/4 水接頭
                    A41944724
                    EPX180NE 干式泵 208V 無 TIM 3/8 水接頭
                    A41944012

                    性能優勢:
                    緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一,EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。
                    低運行成本 – EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可最大化功率效率。
                    獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進氣口壓力下連續工作。
                    超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
                    非??煽?– EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術,具有 13 年的 MTBFp?(SEMI E10),大約每 5 年維修一次,最大程度地延長了泵的使用壽命。
                    可兼容的網絡 – EPX 系列配有最終用戶控制,可以連接到各種結構的網絡,以進行診斷監視和控制。

                    愛德華真空泵種類繁多,型號豐富,對于不同的型號有這很多的分類,因此在購買愛德華真空泵時一定要注意選型,選擇最適合客戶需求的產品,歡迎有需要愛德華真空泵的客戶來電咨詢選型問題:13826954831? 楊生

                    恒溫恒濕試驗箱
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